控制单元 基于PLC控制;
安全防护 配置紧急停机按钮;
装卸方式 晶圆/承载环手动放置与取出;
防静电控制 防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器;
膜种类 蓝膜或者UV膜;
宽度:210~300毫米;
长度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
切割系统 手动轨迹式圆切刀和直切刀;
晶圆定位 通用标线/弹簧定位销;