SENTECH 500adv CER组合椭偏仪 可测量两层膜厚度，或一层膜厚度和折射率

SENTECH 500adv CER组合椭偏仪

、高性，拥有业内测量精度。可测量两层膜厚度，或一层膜厚度和折射率。CER模式，可结合反射式膜厚仪和激光椭偏仪，给出测量数据。选件与SE400选件相同

迄今为止简单易用的椭偏仪 

SE 500adv结合椭偏测量和反射测量 

可椭偏测量对透明膜厚度的周期不确定性 

膜厚测量范围可扩展至25000 nm. 

激光波长632.8 nm 

反射计光谱范围450 nm-920 nm 

光斑直径80 μm 

150 mm (z-tilt)样品台 

角度计，可变入射角度，步进5° 

LAN连接电脑 

　　CER组合椭偏仪SE 500advanced可作为激光椭偏仪，CER组合式椭偏仪或反射膜厚仪FTPadvanced操作。比常规激光椭偏仪有好的适应性。 

作为椭偏仪操作 

　　单角度和多角度测量，可测量多三层膜的厚度和光学参数，测量波长632.8nm，有的测量精度。 

作为反射式膜厚仪FTPadvanced操作 

　　白光正入射测量，可测量透明膜或弱吸收薄膜，厚度可达25μm。配置的软件FTPexpert后能够测量多层膜。 

作为CER组合椭偏仪操作 

　　解决了透明膜的周期不确定性问题，并由于确定的膜厚周期，折射率测量精度显著增加。可测量透明膜的Cauchy系数。