平行板式PECVD沉积系统

SENTECH 平行板式PECVD沉积系统-SI 500 PPD

SENTECH仪器（德国）有限公司是主流的半导体设备商，研发、制造和销售的薄膜测量仪器（反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统）。

SI 500 PPD是电容平板式PECVD等离子沉积设备，主要用于SiO2，SiOxNy，SiNy，a-Si，SiC薄膜的沉积 。适用于2"--8" 样片的薄膜沉积。

系统配置：

• 电源13.56 MHz, 600 W
• 驱动电集成了淋浴头和暗区屏蔽

北京亚科晨旭科技有限公司

亚科电子成立于 1998 年，成立以来一直专注于半导体工艺设备、微纳米加工平台等领域的设备集成供应和技术服务。MEMS、3D 封装、化合物半导体、微波器件、功率器件等众多领域。目前亚科电子已经与众多微电子、半导体设备行业的企业建立了良好的合作关系；EVG（光刻、键合）、Bruker（微纳检测）、TESCAN（扫描电镜） 是其中几家重要的合作伙伴。用户已遍及所有国内集团、科研院所和研发制造企业等领域，在业内拥有良好的口碑。我公司已成为中国电子科技集团、中国、中国航空、中国船舶、中国集团、和高校等所属的众多科研单位及工厂的重要的合作伙伴。