贴膜原理
橡皮轮自动滚压,滚轮压力可调,手动拉膜,
手动移动贴膜机构,贴膜后,滚轮自动抬起
晶圆承载环 6”DISCO 或者 K&S 标准;
8”DISCO 或者 K&S 标准;
客户制定标准;
半自动晶圆贴膜机(切割膜)规格参数:
晶圆直径 4”&5”,6”&8”;
晶圆厚度 150~750微米;
膜种类 蓝膜或者UV膜;
宽度:210~300毫米;
长度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;